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PECVD(等离子体增强化学气象沉积炉)
PECVD设备是一种利用等离子体技术来促进化学反应的设备,具有高沉速率率、高均匀性和高附着力等特点,能够制备出高质量、高性能的薄膜材料。应用领域包括但不限于光伏产业、显示器制造、半导体制造、光学领域、生物医学领域等。
九所科技生产的PECVD设备采用高纯石英原件,具有出色的高热稳定性,且具有完善的安全保护功能,能够有效地防止实验过程中意外情况的发生。我们可以根据客户需求进行扩展和升级,满足不同领域的研究需求。
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